安全和预防臭氧发生器的措施

臭氧发生器的安全和预防措施：

第一，操作设备时需要了解安全性。

无法使橡胶类(橡胶和丁腈橡胶)的密封圈直接接触臭氧，无法使用镀银的VCR垫片。

其它气体无法替代设备指定规格的气体

绝不允许任何外来物质进入臭氧发生器，防止臭氧催化剂进入臭氧气管。

第二，设备中的潜在风险及防范方法-臭氧

    Ozone主要存在于气体管道、臭氧发作管及设备连接处。

    Ozone的安全和预防措施：

    1. 确保臭氧气柜的排风工作正常

    2. 用SS不镀银的VCR垫片连接所有进口和出口气体管道，

    3. 除非SEMOZONE已经通入N2清洁管道，否则不要打开外部气体管道或设备连接管道。

    4. 在臭氧发生器运转之前，必须检查并拧紧所有臭氧管道。

    5. 如果OZONE检测设备的臭氧浓度超过TLV预设值，臭氧发生器是否会停止？

处理臭氧泄漏的方法：

通过激活外部报警信号，臭氧发生器可能会被紧急停止。

疏散所有危险区域的人员

没有自呼吸防护装备的情况下，不能进入危险区域

在进入危险区域之前，要使臭氧自然分化可能会流失。

设备中的潜在风险及防范方法-氧气

    Oxygen主要存在于气体管道、臭氧发作管及设备连接处。

安全和预防Oxygen的方法：

    1. 用SS不镀银的VCR垫片连接所有进口和出口气体管道，

如果有明火，请勿打开外部气体管道或设备连接管道，直至SEMOZONE清洗管道。

处理氧气泄漏的方法：通过外部阀门关闭氧气进气口

设备中的潜在风险及防范方法-电击 Line voltage

    Line 臭氧发生器后端的voltage，以及所有电路连接部件(包括臭氧发生器中的电压电路连接)

    Line voltage 电路电压的安全及预防措施：

如果臭氧发生器已经通电，不要打开设备盖板触摸电路部件。

阻止绝缘盖板在臭氧发生器运转过程中移动。

保证在维修过程中要确定并挂牌维修。

虽然现在总电源和主开关已经关闭在OFF位置，但有些电路部分仍然有电源。

    1.ECOPS(G1)终端区域存在电力存在

主开关S1输入终端有电源。

设备中的潜在风险及防范方法-电击 Stored charges

    Stored charges是ECOPS电源(G1)

    High AC voltage 电路电压的安全及预防措施：

停止在SEMOZONE断电后立即修理ECOPS。

    2.断电后，SEMOZONE至少要等10分钟才能打开ECOPS进行修理和更换。

设备中的潜在风险及预防措施-物理压力 pressure

    气体与水管、臭氧发作反应管和设备连接之间存在压力风险

    Pressure 安全及预防措施：

当打开气管、水管和设备连接管时，应对SEMOZONE进行泄压。

Gasline

    清洗管道至少10分钟，直至所有臭氧排出。

通过外部闸阀或压力调节阀关闭氧气进气，如果有N2进气也要关闭。

通过工艺管道(打开工艺管道闸阀)释放空气压力

等待直到压力接近周围环境的压力。

Waterline

    关闭冷却水进水和出水阀门

逐步打开设备连接处，将冷却水排入预留的外部储水盘中

等待，直到没有剩余的水从设备连接处流出，停止。