量子级洁净守卫者——解密丹佳智能净化空调的微控法则

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  • 发布时间: 2025-04-14
青岛西海岸某晶圆厂的无尘车间内,丹佳自主研发的iClean Pro净化空调机组正以0.001℃的温控精度守护着芯片制造的黄金环境。机组内置的128组纳米级传感器,可实时捕捉粒径≥0.01μm的微粒浓度,与三级过滤系统联动作业:初效过滤器拦截5μm以上颗粒,中效层捕获0.5μm粉尘,末端PTFE超滤膜对0.1μm微粒截留率达99.9997%。

青岛西海岸某晶圆厂的无尘车间内,丹佳自主研发的iClean Pro净化空调机组正以0.001℃的温控精度守护着芯片制造的黄金环境。机组内置的128组纳米级传感器,可实时捕捉粒径≥0.01μm的微粒浓度,与三级过滤系统联动作业:初效过滤器拦截5μm以上颗粒,中效层捕获0.5μm粉尘,末端PTFE超滤膜对0.1μm微粒截留率达99.9997%。

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革命性突破在于AI流体仿真系统,通过2.4万次/秒的湍流计算,动态调节36个出风口的矢量角度,使洁净室气流均匀度达到98.5%。某12英寸硅片项目数据显示,该机组在黄海潮湿季(RH≥85%)仍将车间露点温度稳定在-40℃,湿度波动≤±1.5%,良品率提升2.3%。更搭载自愈型变频驱动技术,在电压波动±15%时仍保持风机转速误差<0.2%,年故障停机时间缩短至4分钟。

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